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      真空泵機組的抽速

      2022-03-29 18:35????點擊:
              任何真空系統都希望盡量縮短抽氣的時間,這關系到提高其效率和降低能耗,但并不是所有的真空應用都具有縮短抽氣時間的條件。真空泵機組真空度要求在0.5pa以上,只要時間常數足夠的小,便可晝量縮短抽氣的時間。
      真空泵機組
        真空泵機組真空度要求在0.5Pa以下,就要改慮放氣對壓力變化的影響。放氣量隨時間的變化緩慢。特別是在無烘烤的情況下。要在預定較短的時間內達到較高的真空度,就要以較大的抽速抽除較大的放氣量。也就是說如放氣量為Q,泵的有效抽速為S0,則可達到平衡壓力P=Q/S0.如平衡壓力確定,則達到的時間越短,要求泵的有效抽速就越大。蒸發鍍膜就是典型的這類的應用,由于蒸鍍的速度快,時間短,所以不考慮放氣量的影響(即活性氣體的影響)。但蒸發粒子的能量低,要求絕大部分粒子無碰撞地沉積到工件上,以保證結合力及減少散射,這就要求真空室內的平均自由程不小于蒸發源到工件的距離,與此相應的壓力約在1×10-2Pa,這便是蒸發鍍膜對真空度的要求。
        如何在盡量短的時間內達到這一壓力,就對泵的有效抽速提出了要求,原則是時間越短,由于放氣量越大,有效抽速就要求越大。所以蒸發鍍膜一般配置抽速強大的油擴散泵機組,功率有數十千瓦,幾分鐘至十幾分鐘內便可達到工作真空度,但該系統對工件造成的油蒸汽污染是難以避免的,特別是塑料金屬化膜層易發黃。
        目前真空泵機組抽速滿足不了大型蒸發鍍的需要。而大抽速的低溫泵又是工業化規模鍍膜所承受不了的。根據被抽空間氣體負載的特性,利用分子增壓泵抽除氣體,結合低溫冷凝水捕集泵抽除水蒸汽,有望實現大抽速獲得清潔真空的全新抽氣工藝。
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